技术编号:11041473
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本文所用的章节标题仅出于组织目的并且不应被理解为以任何方式限制在本申请中所描述的主题。相关申请的交互引用本申请是在2016年2月23日提交的名称为“Self-CenteringWaferCarrierSystemforChemicalVaporDeposition”的美国临时专利申请号62/298,540;在2015年10月14日提交的名称为“Self-CenteringWaferCarrierSystemforChemicalVaporDeposition”的美国临时专利申请序列号No.62/...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。