技术编号：11054379
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于光伏产品的工艺设备技术领域，涉及对板式PECVD镀膜、PERC电池背钝化和镀膜等太阳能电池片镀膜工艺中的载板的结构改进，具体涉及一种斜承载面碳纤维载板。背景技术在太阳能电池的硅片制造工艺中，硅片通过碳纤维载板装载，再进入板式PECVD生产线进行镀膜，可见载板装载是硅片成为电池片的生产工序中的一道必要工序。现有载板的结构如图1所示，其工作时载板托住硅片的部分是台阶面，台阶面上立面与平面的夹角为90，而在生产过程中，硅片和载板上的承载面一直是接触的，经过高温以及相应的生产工艺后，在接触...
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