技术编号:11056413
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及太阳能电池制备技术领域,具体涉及一种支撑垫片及设有该支撑垫片的铜质导管。背景技术镀膜工序是指在制备太阳能电池过程中制备氮化硅薄膜,其作为晶体硅太阳能电池的光学减反射膜,同时也起到表面钝化和体钝化的作用,以提高太阳能电池的转换效率。镀膜主要以等离子体增强化学气相沉淀(PECVD)的方法,如Roth&Rau设备,该设备在恒定磁场和恒定电场的控制下,与高频电磁场发生相互作用,把从恒定电场中获得能量转变成微波能量,微波通过铜天线传输到腔体内,延石英管中的铜管形成线性微波源,激发反应...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。