技术编号：11056908
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于执行等离子体化学气相沉积过程的装置，其包括大体圆柱形的谐振器，该谐振器设有包围谐振腔的圆柱形外壁，该谐振腔具有相对于圆柱轴线基本上旋转对称的形状，谐振器还设有沿相对的圆柱轴线方向限制谐振腔的侧壁部，其中该装置还包括微波波导部，该微波波导部的一端穿过圆柱形外壁延伸到谐振腔中。背景技术以DrakaComteqB.V.的名义的欧洲专利公开文献EP1867610公开了这样一种用于制造光纤的装置。当大功率微波应用于长时间持续的过程时，由于内部反射和对击穿(arcing)的敏感性，可出现关...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。