技术编号：11062960
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体匀胶显影设备离心机主轴电机的加速度测量领域，具体的说是一种利用编码器测量离心机加速度的装置。背景技术离心机被广泛应用于半导体设备上，作为匀胶显影的核心部件，它关系到半导体设备的工艺指标。离心机的加速度、转速对晶片生产工艺有着很大的影响。如果设备离心机的加速度不准确，就会导致匀胶不均匀或显影效果不好。直接导致晶片生产成品率降低。例如：匀胶作为晶片涂胶的重要手段。光刻胶通过胶嘴滴在晶片上，通过旋转晶片使光刻胶在离心力作用下均匀涂在晶片上，离心力的大小直接影响匀胶效果，以上工艺过程都是...
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