技术编号:11064315
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种薄膜晶体管及其制作方法。背景技术薄膜晶体管应用于显示器,通常是当作储存电容充电或放电的开关。一种常见的薄膜晶体管包括栅极、栅极绝缘层、通道层、欧姆接触层、源极及漏极。栅极用于开启或关闭通道层中的电子通道。栅极绝缘层覆盖栅极以使栅极与通道层彼此绝缘,欧姆接触层设于通道层上。源、漏极分别设于欧姆接触层两端,位于源极与漏极间的欧姆接触层将会被蚀刻去除而显露出通道层。其中,源漏极间的通道层作为背通道,需满足一定的厚度以提供较佳使用特性。然,该结构的薄膜晶体管,在通道层需满足一定的厚度的情况...
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