技术编号：11064454
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种面发射激光器及其制备方法，特别涉及一种采用石墨烯进行电极搭桥的面发射激光器及其制备方法，属于激光器领域。背景技术垂面发射激光器(VCSEL)具有阈值低、波长稳定性好、光发散角小、与光纤耦合效率高易于实现高密度集成等优点，是光通讯、高密度存储器、激光打印、激光显示、光信息处理等光电子领域不可缺少的重要器件之一。为了能有效地形成光限制和电流限制，VCSEL经常采用隔离槽结构，通过干法刻蚀或湿法腐蚀等在器件发光端面形成具有一定深度的隔离槽。隔离槽中间的发光端面的电极面积较小难以直接与驱动...
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