技术编号:11065116
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种机架结构,属于半导体制造技术领域。背景技术半导体设备在使用中产生振动,腔体在支撑件上产生不稳定状态,容易造成腔体中反应气体分布不均,从而造成等离子分布的不均匀。另外,倾斜的腔体也会对机械手传送晶圆造成干扰,导致机械故障等问题发生,会降低半导体处理制程的良率。基于以上分析,半导体设备在使用时,腔体需要保持水平和固定。这样设备在运行时才能不改变腔体的状态,保证设备持续运行稳定,实现半导体产品的稳定生产。因此,需要设计一种新型的机架结构,保持腔体的稳定。发明内容本发明以解决上述问题为目的...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。