技术编号：11071572
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种电容压力传感器，特别是一种让电容式压力传感器的动电极立着，即动电极的受压位移方向与重力方向垂直或动电极立着的多个电容压力传感器并联的立式动电极的电容压力传感器。它可以广泛应用于微电子、铀浓缩等需高可靠性、小微量程的高精度测量。背景技术现有的电容压力传感器的原理，大多基于平行板电容器。这样的电容压力传感器在小微压力测量方面呈优势。电容压力传感器设置有定电极与动电极，动电极受压后，相对于定电极发生位移，使电容发生相对变化，对其放大处理后，对应于压力，电容压力传感器有输出。动电极一般...
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