技术编号：11072438
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种靶材热喷涂用冷却结构，尤其是涉及一种应用在真空喷涂管内且实现方便更换冷却结构的靶材热喷涂用冷却工装。背景技术靶材喷涂一般分为冷喷与热喷两种，其中热喷为将工件置于真空罐内并在真空罐内安装或设置行走机构，以带动工件进行行走作业，从而达到圆柱状工件的喷涂。目前，在热喷涂过程中，需要多工件进行冷却，以确保安全，现有冷却结构靶材喷涂过程中冷却液喷嘴多为固定结构，无法实现移动，因此靶材热喷的结构中大多工件行走，但因工件一般长度较大，行走需要较大空间，导致真空罐体积大，占用空间大，而减小空间...
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