一种自动调节的斜入射光路的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11074550

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本实用新型涉及光学技术领域,尤其涉及一种自动调节的斜入射光路。背景技术光源斜入射至样品是光学检测应用中最常见的方式之一。目前常见的实现方式是通过反射镜组合的安放角度及位置调节实现原定光学设计。该方式具有设计灵活、能实现较紧凑结构等优势,在许多光学仪器中广泛采用。由于固定元件松动,零件老化、样品台高度变动等原因,通过反射镜组合实现的固定角度光源斜入射在使用中常常会发生偏移,导致入射角度、照射位置、聚焦效果等发生变化。对于精密光学仪器,即使细微的变化也将导致仪器效果改变,因此,长期稳定的斜入射照明光...
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