一种复合式压电变形镜的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11074597

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本实用新型属于光学器件领域,涉及一种复合式压电变形镜,用在天文望远镜中作像差校正。技术背景自适应光学是近几十年发展起来的一种波前校正技术,通过调整变形镜的面形实现对光路中畸变波前的校正,提高成像分辨率。自适应光学对天文望远镜的发展产生了革命性的影响,现代大型地基、天基望远镜几乎都配备了自适应光学系统。随着天文望远镜(尤其是更大口径望远镜的建设)也对自适应光学需求的增加,对关键器件变形镜提出了更高的挑战:驱动器数目高达上千乃至上万,变形量在10微米以上,带宽在百赫兹以上。双压电或者单压电变形镜采用...
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