技术编号:11076672
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及研磨抛光技术领域,更具体的说,尤其涉及一种液动压悬浮研磨抛光一体加工间隙可调装置。背景技术超精密加工技术是一门新兴的综合性加工技术。它集成了现代机械、光学、电子、计算机、测量及材料等先进技术成就,已成为国家科学技术发展水平的重要标志。为了获得各种元器件及装备的高性能,要求元件和零件的加工精度越来越高,有的甚至要求达到纳米级或更高的加工精度和无损伤的表面加工质量。超精密抛光是目前最主要的终加工手段。抛光过程的材料去除量十分微小,一般在几微米以下。目前,非接触式抛光是获得超光滑表面的主要抛...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。