技术编号：11076757
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及研磨领域，具体是一种基于固结磨料抛光垫的宝石衬底的超精密加工方法。背景技术三硼酸锂(LiB3O5)(简称LBO晶体)是具有优良品质的功能晶体材料，广泛应用于全固态激光、电光、医学、微加工等研究和应用领域，而大尺寸LBO晶体在激光同位素分离的变频器、国家点火计划中激光受控聚合工程系统等领域具有广泛的应用前景。我国功能晶体及相关非线性光学晶体的生长居国际领先地位，而在晶体的抛光加工与国际上还有不小的差距，成为制约我国功能晶体产业发展的一个瓶颈。LBO晶体除了具有硬脆功能晶体容易出现的崩边、...
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