技术编号:11080424
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。用于刻划碳化硅板的方法和设备本申请是国际申请号为PCT/JP2011/000061、国际申请日为2011年1月7日、进入中国国家阶段申请号为201180064329.9、名称为“用于刻划碳化硅板的方法和设备”的发明专利申请的分案申请。技术领域本发明涉及一种用于刻划碳化硅板的方法以及设备,其中,通过借助切割轮向碳化硅板施加压力并使该切割轮在碳化硅板上滚动、从来在碳化硅板上刻划出刻划线。背景技术顺便而言,碳化硅板(SiC板)等由于表面硬度高,因而在进行刻划(刻划出刻划线)时切割轮非常容易打滑,并且较...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。