技术编号：11086187
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种敏感膜及MEMS麦克风技术领域本实用新型涉及一种用于测量的敏感膜，例如麦克风中的振膜或者其它压阻式、压电式、光学式传感器的敏感膜；本实用新型还涉及一种MEMS麦克风。背景技术MEMS(微型机电系统)麦克风是基于MEMS技术制造的麦克风，其中的振膜、背极板是MEMS麦克风中的重要部件，振膜、背极板构成了电容器并集成在硅芯片上，实现声电的转换。传统的振膜的制作工艺是在硅基底上做一层氧化层，然后在氧化层上利用沉积的方式制作一层振膜，经过掺杂、回火后，蚀刻出所所需的图形，振膜通过其边缘的铆钉点固定在...
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