技术编号：11088312
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及单晶棒加工技术领域，尤其是一种一种单晶炉泄露引流装置。背景技术在现行的单晶炉设备上，石墨电极上的盖为圆形，只能够起到减少硅蒸汽在电极处的凝结，没有起到漏硅保护的作用，并且因为电极盖较小，在发生漏硅时，硅液会更快的流至炉底电极处，造成高温硅液烫坏电极和炉底板，造成巨大的经济损失和人员伤害。所以，如何提供一种新型石墨电极盖及其设置方式达到单晶炉泄露引流的目的，是目前本领域技术人员亟待解决的技术问题。实用新型内容有鉴于此，本实用新型提供了一种单晶炉泄露引流装置，解决现有技术中存在的缺陷，...
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