技术编号：11092199
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种基于模态局部化效应的弱耦合MEMS谐振式加速度计所属领域：本发明涉及了一种加速度计，特别是涉及一种基于模态局部化原理的微型谐振式加速度计，属于微机电系统(MEMS)领域。背景技术：加速度计是一种用来测量载体加速度的仪表，是惯性导航系统的基本核心元器件，其在航空航天、汽车工业、消费电子、工程机械等领域有着重要的应用价值。MEMS加速度计凭借其体积小、重量轻、成本低和易于批量生产等众多优点，现已成为加速度计的主要发展方向。目前大多数MEMS加速度计的工作原理是基于牛顿第二定律，利用可动质量块产生...
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