技术编号：11099440
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及干涉测量领域，更具体地说，它涉及一种参考镜偏摆装置。背景技术干涉测量是通过两束相干光之间的相干特性产生的光程差产生的明亮条纹来测量高度数据的一种方法；光通过分光棱镜分为两束光，经过反射参考镜以及样品返回的光之间的光程差形成干涉条纹；而参考镜的角度的调整精度直接决定了测量的准确性及可靠性。但参考镜调节大多是通过手动的方式进行的、而现有自动调节通常采用压电陶瓷调节角度方式，成本较高，且断电后会恢复初始位置；需要时刻进行保持电压。而使用步进电机进行移位的成为了较为可行的一个办法，但步进电机移...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。