技术编号:11099601
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及点衍射三维测量技术领域,特备涉及一种基于双通道点衍射干涉的三坐标测量装置及方法。背景技术为了达到现代制造业对于产品精度越来越高的要求,很多高精度绝对位移测量方法被使用于日常的测量精度与高效率测量的生产之中。目前三维坐标测量主要采用三坐标测量机和激光跟踪仪。三坐标测量仪作为一种高效的绝对位移测量系统,已经被广泛的适用于高精度定位、尺寸测量以及复现产品等的工作。目前,三坐标测量机需要价格高昂的高精度专用导轨,高平面度的大理石测量平台。实时测量时,需要将待测件放置于测量平台之上,由传感器进行...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。