技术编号:11100337
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及实验室废气回收处理技术领域,具体涉及结构简单、组装及拆卸方便、易清洗的氯硅烷分析废气回收处理装置和处理方法。背景技术多晶硅是制造半导体器件、集成电路、太阳能电池的基础材料。近年来,计算机技术、互联网产业的不断发展,同时人们对环境保护、节能减排和利用清洁能源呼声的日益提高,使得多晶硅产业蓬勃发展。随着多晶硅及相关行业的兴起发展,对于作为生产多晶硅主要原料的三氯氢硅和多晶硅副产物四氯化硅等氯硅烷的产量、质量日益重视,对其的研究、分析持续深入进行。多晶硅是一种超高纯材料,因此对其原料三氯氢硅...
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