技术编号：11100692
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及太阳能电池片相关技术领域，尤其是指一种扩散快速退火方法。背景技术太阳能扩散炉主要有管式扩散炉和链式扩散炉，其中管式扩散炉包括闭管式扩散和开管式扩散，由于闭管式扩散炉可与外界环境完全隔离，不受外界环境干扰等优点，扩散后的方阻均匀性较好，目前基本上都采用此设备。闭式扩散炉密封性和保温性能都很好，导致普通的退火工艺需要较长的时间，且所能降到的温度仍然较高，这对修复晶格缺陷不利，同时工艺时间的延长会降低电池片工厂的生产产量，降低企业利润。扩散工艺是制电池片PN结的重要方法，然而常规扩散工艺所需...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。