电阻式存储器及其制造方法与制造工艺技术资料下载

技术编号:11102781

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本发明涉及一种存储器及其制造方法,尤其涉及一种电阻式存储器及其制造方法。背景技术近年来电阻式存储器(诸如电阻式随机存取存储器(ResistiveRandomAccessMemory,RRAM))的发展极为快速,是目前最受瞩目的未来存储器的结构。由于电阻式存储器具备低功耗、高速运作、高密度以及相容于互补式金属氧化物半导体(ComplementaryMetalOxideSemiconductor,CMOS)工艺技术的潜在优势,因此非常适合作为下一世代的非挥发性存储器元件。现行的电阻式存储器通常包括相...
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