技术编号：11105368
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种紫外分光光度计法测量氯硅烷中痕量磷杂质含量的样品预处理装置及方法，特别是涉及一种以四氯化硅为原料，以高纯水作为水解液，利用加热气化、钼酸铵法测量技术，经过紫外分光光度计测量四氯化硅中痕量磷杂质含量的样品预处理装置及方法。背景技术三氯化磷，英文名称：phosphorustrichloride，分子式为PCl3。磷以多种氯化物的形式存在，其中主要的存在形式是三氯化磷；三氯化磷作为一种主要影响高纯四氯硅纯度的杂质，对于在工业方面的用途如氢化还原为三氯氢硅、合成气相二氧化硅、合成硅酸乙酯、...
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