技术编号:11105398
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体器件制造技术领域,涉及天线技术领域,尤其涉及一种用于可重构多层全息天线的Si基SPiN二极管制备方法。背景技术各类无线电通讯设备,如雷达、广播、电视等,都要通过天线来传递信号,要求天线具有较高的性能指标。全息天线是一类特殊的天线形式,其设计思想独特,某些指标优于其他形式的天线,其设计理论和工程应用具有较高的研究和实用价值。具体地,全息天线是利用全息结构改变馈源辐射特性,以获得所需辐射的一种口径天线。全息天线的馈源不需要复杂的馈电网络,避免了微带天线阵列馈电网络的高损耗。而且,全息...
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