用于微镜芯片的装配体、镜像装置以及用于镜像装置的制造方法与制造工艺技术资料下载

技术编号:11105762

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本发明涉及一种用于微镜芯片的装配体。本发明同样涉及一种镜像装置。本发明还涉及一种用于镜像装置的制造方法。背景技术在DE102010062118A1中描述了一种用于微型光学机械构件的覆盖装置以及一种用于这种覆盖装置的制造方法。通过覆盖装置可覆盖微型光学机械构件,例如保护在其上构造的微镜的芯片。覆盖装置包括至少一个由透光材料构成的窗口,该窗口这样固定在基底上,使得至少一个穿过基底延伸的凹槽可通过相应窗口被密封。该至少一个窗口相对于基底的最大表面倾斜地定向。发明内容本发明提供一种具有权利要求1特征的用...
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