一种光干涉气体浓度传感器系统的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11107200

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本发明属于一种精密检测技术领域,尤其涉及光干涉气体浓度传感器系统,其能够通过巧妙的设计两个不同的光路,使得同一光源发出的光线通过不同形状的气室,由于气室中气体浓度的不同产生光程差以及相移,两路光线发生干涉现象。并且干涉条纹的移动量与通过气室中气体浓度有确定的关系,最终达到精确检测采样气室中气体浓度的目的。背景技术目前,各种检测手段不断发展,各个检测领域所能达到的检测精度不断提高,但是对于气体浓度的检测,虽然在某一量程范围内的精度也在逐步提高,但是一直未能有一种全量程高精度的气体浓度传感器。气体浓...
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