技术编号：11108083
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种测量高分辨透射电子显微镜照明电子束偏离光轴(倾转)的大小和方向的方法，属于透射电子显微镜应用技术领域和高分辨电镜仪器制造技术领域。背景技术现代透射电子显微镜具有很高的时间(毫秒，ms)和空间分辨率(<1埃，)，在材料微观结构研究中具有不可取代的作用。高分辨相位衬度成像是利用透射电子束和衍射电子束之间的衍射产生衍射条纹的方法，是透射电镜一种重要的成像机制，在一定条件下，结合图像模拟技术，人们可以从图像中读取原子柱的位置，甚至是三维的原子排列及成分分布，这是目前电子显微学发展的...
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