一种半导体气体传感器动态检测系统的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11108474

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本发明属于气体检测技术领域,具体涉及一种半导体气体传感器动态检测系统。背景技术半导体气体传感器可以检测环境中低浓度的有害气体,目前已广泛应用于工业生产过程监测、大气污染检测、食品安全检测、公共医疗检测等多种领域,具有十分重要的应用价值。半导体气体传感器的核心在于其半导体敏感材料,常见的有氧化锡、氧化锌、氧化钨、氧化铟等等,不同的半导体敏感材料对于目标气体响应性能各不相同,材料的化学组成、微观形貌、厚度等参数会造成传感器件在响应值、响应速度、工作温度、稳定性、选择性上产生极大差异。因此,检测众多类...
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