技术编号：11110058
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。由用于CVD或PVD装置的多种液态或固态原材料产生蒸气的设备和方法本发明涉及一种在CVD(化学气相沉积)或PVD(物理气相沉积)装置中产生蒸气的方法，其中，通过使第一原材料的液态或固态颗粒与具有第一温度的第一导热体的导热面形成接触而将蒸发热量传导在所述颗粒上，从而形成第一蒸气，借助运载气体将所述第一蒸气从第一导热体输送出，其中，所述第一蒸气被运载气体送入第二导热体中，所述第二导热体沿运载气体的流动方向布置在第一导热体的后面的一定距离处并且具有第二温度。此外，本发明还涉及一种用于为执行该方法的CV...
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