技术编号：11110106
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种如权利要求1的前序部分所述的喷嘴头，更具体地涉及一种用于使基底的表面经受至少第一前驱体和第二前驱体的连续表面反应的喷嘴头，喷嘴头具有输出面，输出面包括一个或多个前驱体喷嘴(其布置成将第一前驱体和第二前驱体供应到基底的表面)和至少两个排放通道(其用于从基底的表面排放前驱体)。本发明还涉及一种如权利要求9的前序部分所述的装置，更具体地涉及一种用于使基底的表面经受至少第一前驱体和第二前驱体的连续表面反应的装置，该装置包括用于将前驱体供应到基底的表面的喷嘴头，喷嘴头包括输出面，输出面具有一...
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