技术编号：11110896
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提出了硅基缝隙耦合式T型结的直接式毫米波信号检测器，属于微电子机械系统(MEMS)的技术领域。背景技术二十一世纪是信息科学技术的时代，在这个时代中，信号的检测技术是人们一直重视和研究的一门技术，尤其是在当今的军事、通信以及航空航天等领域，对各种形形色色的信号的检测是一项非常重要的任务，一个信号有着三大非常重要的参数：频率、相位和功率，按照频率来划分可以分为低频信号、高频信号和极高频信号，其中毫米波信号就是一种极高频的信号，它位于微波和远红外波相交叠的区域，目前对于低频信号和高频信号的检测技...
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