技术编号：11110899
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提出了一种悬臂梁T形结在线式微波相位检测器，属于微电子机械系统(MEMS)的技术领域。背景技术在微波技术领域中，相位是微波信号的重要参数之一，微波信号相位检测在微波信号的产生、传播和接收的各个环节中都有着极其重要的作用，是电磁测量不可缺少的一部分。在实际应用中，微波信号相位检测系统可用于测量物体的方位角、提取运动物体的多普勒频移、相控阵雷达以及测量器件的相位特性等。微波信号相位检测的方法主要有两种：信号分解法和矢量合成法。它们的优点是精度高，宽频带，但是无法实现在线式检测，并且结构相对复杂...
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