技术编号：11120460
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光学薄膜领域，尤其是一种梯度折射率薄膜的制备方法及装置。背景技术在传统的光学系统中，各种光学元件所用的材料都是均质的，每个元件内部各处的折射率为常数。梯度折射率材料则是一种非均质材料，它的组分和结构在材料内部按一定规律连续变化，从而使折射率也相应地呈连续变化，可以提高光谱透射率、减少反射光。制备梯度变化的折射率薄膜，一般需要几种不同折射率的膜层材料叠加堆积得到。目前制备方法主要有三大类：一是多源共蒸法；二是反应沉积法；三是沉积参数(如沉积温度，基底温度，气压)的变化来实现折射率的变化，...
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