技术编号：111220
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及使用光刻技术处理薄金属片的方法，例如，这种方法能应用于电视接收机显像管中的阴罩的微制作。在用于彩色显像管的阴罩的制作中，光刻技术用来形成阴辊材料中的圆形的或狭缝的孔隙以使电子束从其中通过。更特殊地，在一个拉长的、带状金属片诸如展性软钢片或殷钢片的表面形成一个光刻胶层，在暴光、冲洗等步骤后产生一个保护层，一种腐蚀液喷洒到金属薄片的表面以将通过保护层孔隙暴露的金属片部分溶解从而在金属片上形成所期望的孔隙。其中，如在阴罩的情况下，对孔隙尺寸要求有高精度，通常的方法是在金属片上形成具有图案影像的保护层并向其上喷洒...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。