材料表面形态呈梯度变化的微纳米级结构阵列的制备方法与制造工艺技术资料下载

技术编号:11122468

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本发明属于材料科学技术领域,具体涉及一种利用等离子刻蚀机的垂直电场分布制备材料表面形态呈梯度变化的微纳米级结构阵列功能材料的方法。背景技术具有梯度结构的功能材料(梯度功能材料)的制备及应用研究,已经成为材料科学领域一个独立而重要的分支。当材料表面具有梯度变化的形貌或表面化学组成时,其常常具有高通量及对表面物质具有诱导性的优异性质,在许多领域都有着广泛的应用,例如微流体流动(K.Ichimura,S.K.Oh,M.Nakagawa,Science,2000,288,1624-1626)、细胞行为诱...
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