技术编号:11126667
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及真空蒸镀设备技术领域,特别涉及一种蒸镀设备及蒸镀方法。背景技术有机发光二极管显示器件(OrganicLight-EmittingDiode,OLED)被认为是下一代显示的主流技术,受到越来越多的关注。真空蒸镀是OLED制程的主要工艺,目前小尺寸OLED真空蒸镀采用的蒸镀设备包括:点源和支撑台。支撑台承载并固定金属掩膜板,并位于点源的上方,待蒸镀基板位于金属掩膜板的上方。支撑台上设置有多个固定块,固定块与金属掩膜板相抵靠,通过夹持金属掩膜板以使金属掩膜板固定在支撑台上。蒸镀设备工作时,支...
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