技术编号：11130967
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种微力传感器，更具体的说，涉及一种基于PVDF(聚偏氟乙烯)的微针型压电微力传感器及其制备方法。背景技术近年来，随着微电子技术、微机械加工技术的迅速发展，越来越多的应用领域需要高分辨率的微力传感器。传感器的主要形式有压阻式、电容式、光纤式、压电式等，这类传感器主要用来完成传感器与物体间的接触检测。目前，国内外已有很多研究学者通过结合纤毛的结构原理和成熟的MEMS制造技术设计制作出多种新颖精巧的微力传感器，并广泛应用于不同的领域。而这些纤毛式微力传感器多为压阻式，通过纤毛尖端与物体...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。