技术编号:11131525
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及材料表面散射的测量领域,特别是一种大口径材料表面散射的高速测量装置和方法。背景技术在精密光学工程、半导体制造、精密机械制造以及国防军工等高科技领域,对所用材料的表面缺陷都有严格的要求,材料的表面缺陷是指在材料加工和搬运等各种环节中产生的形状尺寸各异的划痕和麻点等微小缺陷。材料的表面缺陷会严重影响元器件的工作性能,如高功率激光系统中材料的表面缺陷会极大的降低其激光损伤阈值,同时表面缺陷对入射的强激光束会造成不同程度的热吸收,随着材料上高能量激光辐射次数的增多,材料的表面缺陷会造成光学元器...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。