一种实现纳米线生物传感器表面修饰的方法与制造工艺技术资料下载

技术编号:11131570

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本发明涉及生物传感器,具体涉及一种实现纳米线生物传感器表面修饰的方法。背景技术集成电路自发明以来,通过不断缩小其特征尺寸,同时集成其他微机械系统元件,能够有效地提高芯片性能。而近年来,微纳技术与生物技术的结合引起了学术界与工业界的广泛关注。微型生物传感器是一种以生物活性单元(如酶、抗体、核酸、细胞等)作为敏感基元,将生物信息转换成电信号,以实现对环境中的生物信号进行监测的元件。纳米线拥有很高的表面积体积比,满足生物传感对于灵敏度的要求,因此被视为最有发展潜力生物传感器件之一。目前业界对纳米线表面...
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