端面耦合纳米光波导双光路芯片级磁强计的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11132180

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本发明涉及光学领域和微纳系统领域,具体为基于CPT效应的端面耦合纳米光波导双光路芯片级磁强计。背景技术MEMS技术的进步,带动了微制造行业的发展,基于CPT效应的芯片磁强计由于不需要千兆赫兹量级的本地振荡器,相比于传统原子磁强计,在体积上缩小了数个数量级,功耗以及性能在很大程度上也得到了改善,并扩展了其应用范围。比如,航空勘测、空间应用,便宜的磁强计阵列可以用于井下勘测、遥感以及生物磁应用。从国外的研究成果可以看出,目前芯片磁强计的研制性能参数基本满足部分应用需求,已研制出商用芯片磁强计产品,并...
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