一种微透镜扫描装置的制造方法技术资料下载

技术编号:11132557

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本发明属于光学技术领域,更具体地,涉及一种微透镜扫描装置。背景技术光学扫描装置主要有多面棱镜扫描器、声光扫描器、电光扫描器、振镜扫描等。多面体棱镜的扫描频率和扫描角度之间相互制约,当提高扫描频率时必然导致扫描角度的减小;声光偏转器的扫描频率非常快,但是扫描角度相对较小,使用的时候需要在系统中增加额外的扩角元件来增大视角;电光偏转器的扫描频率是最快的,但是其扫描角度非常小,而且结构复杂,对电压要求很高。发明内容针对现有技术的缺陷和迫切需求,本发明提供一种基于二维集成式工作台的微透镜扫描装置,只需微...
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