技术编号：11132756
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。纳米粒子-聚合物抗蚀剂技术领域本发明大体上涉及半导体和半导体工艺的领域。确切来说，本发明提供一种包括纳米粒子-聚合物抗蚀剂的复合材料。背景技术近年来已开发金属氧化物纳米粒子以用于光致抗蚀剂。由有机配体(如甲基丙烯酸)围绕的一些金属氧化物(如HfO2或ZrO2)可以在EUV波长下经图案化。在这种工艺期间，配体添加到金属氧化物中以形成纳米粒子聚集体，所述纳米粒子聚集体与光酸产生剂组合以形成光致抗蚀剂。由溶剂(如PGMEA)涂布的这些光致抗蚀剂可以呈正(水性碱)或负(2-庚酮)型显影。然而，仍需要一种...
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