技术编号：11132762
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种集成电路装备制造领域，尤其涉及一种种重载基板台的六自由度调整装置。背景技术随着科学技术的进步，微电子技术向大规模集成电路(LSI)和超大规模集成电路(VLSI)方向迅速发展，对与之相应的工艺设备（如图形发生器、分步重复照相机、光刻机、电子束和X射线曝光机及检测设备等）提出了更高的精度要求。作为精密机械与精密仪器的关键技术之一——微位移技术，左右着整个设备的性能，直接影响到微电子技术的发展。在微电子技术中，TFT光刻机作为制造平板显示器的关键设备，其要求精度高，集成技术难度大。基板台...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。