技术编号:11132984
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于辅助从多个控制装置收集到的时序数据间的时刻确认的辅助技术。背景技术近年来,在半导体制造装置中,EES(EquipmentEngineeringSystem,设备工程系统)正转移向实用阶段。其主要目的是以装置自身作为对象的不佳状况探测FD(FaultDetection,故障检测)、不佳状况预测FP(FaultPrediction,故障预报)(参照非专利文献1等)。在这些FD/FP中,存在装置控制等级、模块等级、子系统、I/O设备等级这样的分级化的把握方法。并且,I/O设备等级的主体是...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。