技术编号:11136371
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及SiC高温高能离子注入机,尤其涉及一种引出电极的电极轴驱动装置。背景技术SiC作为第三代半导体材料被广泛用于制作新一代高效节能的电力电子器件,涉及国民经济的各个领域。SiC高温高能离子注入机的作用就是把要掺杂元素的离子加速,使获得很大动能的杂质离子直接进入SiC晶片中的晶格,离子注入后进行退火激活。首先由送入离子源弧室的气体电离产生等离子体,引出电极将带正电荷的离子从弧室中吸引出,从而形成离子束流。当在相对于弧室为低电压的引出电极上加负高压时,等离子体中的带正电荷的离子束流就会被引出电...
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