技术编号:11136571
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种由金属氧化物薄膜晶体管构成的电路结构及制造方法,尤其是用于显示器模块中的电路结构。背景技术作为构成显示器面板中电路不可或缺的有源器件,薄膜晶体管的性能直接影响显示器的性能。相比于传统的硅基薄膜晶体管,由金属氧化物构成有源层的薄膜晶体管具有诸多优势,比如低温工艺、高透明度、高迁移率和低漏电等,其被认为是显示器面板中硅基器件的最有希望替代者。但是现阶段,金属氧化物薄膜晶体管在电路应用中相比于传统硅基薄膜晶体管,还存在一个明显的缺陷密度。由于难以实现性能优良的p型金属氧化物薄膜晶体管,因...
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