技术编号:11136794
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及平面显示装置领域,尤其涉及一种OLED掩模板的制作方法。背景技术有机电致发光技术(OrganicLightEmittingDiode,OLED)是一种新型的显示、照明技术。一般采用真空蒸镀技术制备OLED薄膜,即:在真空环境(~10-5Pa)中加热有机/金属材料,材料受热升华,透过具有一定图案的掩膜板(mask)上的图案,在基板表面形成具有一定形状的有机\金属薄膜。OLED掩模板制作主要通过将具有一定图案的金属薄片焊接到金属框架上。现有的金属薄片主要是通过化学蚀刻法得到。但是由于目前通...
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