技术编号:11139512
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及传声器及制作方法,尤其涉及一种微型麦克风及制造方法。背景技术麦克风是一种将声音信号转化为电信号的换能器。其中驻极体电容式麦克风(ECM)已经广泛应用于各个领域。但传统ECM在高温下其敏感膜中的常驻电荷会发生泄漏,进而导致ECM失效。而器件自动化表面贴装工艺常需经历高达260℃的焊接温度,导致ECM在大批量自动化生产的消费类电子产品领域丧失优势。而利用微机电系统(MEMS)技术制造的微硅麦克风是通过外电源直接对麦克风提供偏置电压,无须在敏感膜中存储常驻电荷,所以没有常驻电荷在高温下流失的...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。