技术编号：11142091
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明整体涉及微机械系统，并且具体地涉及使用此类系统进行光学扫描。背景技术在现有技术中已知用于光学3D测绘的各种方法，即通过处理对象的光学图像来生成对象的表面的3D轮廓。这种3D轮廓也被称为3D图、深度图或深度图像，并且3D测绘也被称为深度测绘。PCT国际公开WO2012/020380(其公开内容以引用方式并入本文)描述了用于测绘的包括照明模块的设备。该模块包括被配置为发射辐射束的辐射源以及被配置为在所选择的角度范围内接收和扫描光束的扫描器。照明光学器件被配置为投射所扫描的光束，以便产生在感兴趣...
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